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SIC全自动预清洗机
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SIC全自动预清洗机
产品参数
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1)
适用SIC衬底片的预清洗,可兼容4寸、6寸、8寸规格
2)
全自动控制,高速机械手,保证设备运行平稳,定位可靠
3)
设备外观大气、结构紧凑
4)
外形采用特殊设计,提高设备防腐性能,延长设备使用寿命;
5)
人性化的操作界面,配合PLC控制操作,使用起来更为简便。
6)
采用10.4′触摸屏操作界面,PLC控制。自动配补液,保证了操作的安全稳定性;
7)
可满足客户多种工艺及产能的定制化需求。
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