SIC研磨后清洗机
SIC研磨后清洗机
SIC研磨后清洗机
- 产品参数
- 产品详情
1）
适用于6-12英寸的硅片腐蚀清洗功能
2）
12”无盒式（No Cassette）晶圆批次处理可供选择；
3）
软件客制化、模块化设计，工序可灵活编辑、组合选配；
4）
全程自动化控制，无人工干预，保证产品性能的一致性；
5）
根据工艺需求，槽体可匹配超声、抖动、旋转、循环和过滤等功能；
6）
配备高速移载机械手，伺服驱动控制，保证运行平稳，定位可靠；
7）
可根据工艺需求，匹配超（兆）声、抖动、旋转、溢流循环喷淋等多种功能；
8）
机台可采用晶圆承载、翻转机构，晶圆移载机器人，FOUP LoadPort配合下料；
9）
配备温水慢提拉+IR干燥组合方式，确保晶圆干燥完全；
