DSP后清洗机

DSP后清洗机

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DSP后清洗机

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1）
适用于12”Cassette Less硅片清洗
2）
药液循环过滤，增强了清洗效果
3）
全自动控制，可选自动配液、补液系统
4）
用于批式晶圆湿法清洗、刻蚀、光刻胶去除等工艺
5）
触摸屏+PLC控制方式；