12寸边缘刻蚀机

12寸边缘刻蚀机

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12寸边缘刻蚀机

  • 产品参数
  • 产品详情
1）
适用于6-12”硅片的去边处理；
2）
去边规格0.4-1.5mm,去边精度±0.1mm，特殊规格支持定制；
3）
设备包含FOUP LoadPort,Pre-Aligner,WTR机械手,机械模组，Buffer位，刻蚀槽，水洗槽，甩干位，储酸槽；
4）
FOUP LoadPort各部分均可以独立操作；
5）
具有两套硅片上料线，上料WTR将硅片搬运至Pre-Aligner中定心并寻参；
6）
用真空吸盘吸附的方式进行硅片的搬运；
7）
下料WTR取走放入到下载FOUP指定Slot中；
8）
采用国际知名的电气元件。