SIC抛光后清洗机

SIC抛光后清洗机

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SIC抛光后清洗机

  • 产品参数
  • 产品详情
1）
适用SIC衬底片的抛光后清洗，可兼容4寸、6寸、8寸规格
2）
全自动控制，高速机械手，保证设备运行平稳，定位可靠
3）
设备外观大气、结构紧凑
4）
具备自动上下料功能，干法下料
5）
设备由PLC控制,各部分均可以独立操作
6）
人性化的操作界面，采用先进的工控机终端显示技术，智能化记忆控制，有效的提高工作的效率