碱腐蚀机

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碱腐蚀机

  • 产品参数
  • 产品详情
1）
适用于12”Cassette Less硅片清洗
2）
精准化设计：控温精准，温度波动小；
3）
设备包含设备主体、电气控制、工艺槽、纯水槽等；
4）
高速移裁机械手，伺服驱动控制，保证运行平稳，定位可靠
5）
全程自动化控制，无人工干预，保证产品性能的一致性；
7）
可满足客户多种工艺及产能的定制化需求。