适用于对硅片、蓝宝石片、氮化镓、砷化镓、碳化硅片等半导体晶圆的全自动离心脱水、氮气吹扫烘干等；

适用于2-12”晶圆的脱水甩干；

配备电导率测试仪，可选清洗终点判定依据；

配备旋转支架：工作转速 ：400-2200rpm；转速误差<5%；平衡等级：G40；采用光盘自动定位，定位可靠；

触摸屏+PLC控制方式；

配备静电消除装置：将带电离子吹向甩干桶内以中和桶内静电离子。