2022年9月南轩自主研发生产12寸全自动无篮式清洗设备试运行正常即将交付。

该设备主要用于12寸抛光片的腐蚀清洗工艺，配置自动上料、自动供补液、前置式无篮抱爪机械手、兆声波、槽内旋转和抛动、纯水慢提拉干燥和机器人自动下载到Foup等功能，干上干下的配置真正实现自动化生产。该设备的顺利交付也代表南轩公司向高端清洗设备领域又迈近了一步。

半导体清洗是贯穿整个晶圆制造过程的重要工艺环节，清洗工艺好坏是提升良率的关键，无篮式清洗可有效避免片篮沾污，提高清洗洁净度。

南轩公司主要生产制造半导体湿法清洗制程设备，具有独立设计研发团队，配备万级洁净生产车间，后续我们将继续努力，研发生产更多高端清洗设备满足更多客户的需求。